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真空蒸着機 スパッタ装置 有機EL成膜装置
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ターボ分子ポンプ ターボ分子ポンプ クライオポンプ ポンプ
 
 

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 真空ポンプ専門サイト

 

 イオンコーター、イオンスパッタ

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 ディスペンサー
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 紫外線照射装置、UV照射機

 プローバー、ウエハーチェッカー

 ウェハー処理装置

 ウェハー検査装置

 ダイボンダー、ワイヤーボンダー

 スピンコーター、スプレーコーター

 スピンドライヤー

 超音波洗浄機

 コンプレッサー

 チラー

 窒素発生装置、N2精製装置

 輝度計、硬度計

 電子顕微鏡
 SEM、SPM、AFM、STM、FIB

 ガスクロ、液クロ

 分光光度計、FT-IR

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真空装置真空蒸着機スパッタ装置エッチング装置  情報はお問い合わせ下さい。

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在庫状況お探しの機器・装置お気軽にお問い合わせ下さい。
   
  在庫状況が頻繁に変動する為、当ホームページに記載の無い物についても、
在庫・取扱いがある場合があります。
  中古ではご希望の仕様に見合うものは見つけにくいものです。 豊富な情報で
お客様に見合う仕様の機械・装置をお探します。
  お気軽にお問い合わせ下さい。
下記、
在庫一覧で主な取扱い機械装置の在庫状況がご確認いただけます。
   

真空装置

   

真空蒸着装置

蒸着機

スパッタ装置

エッチング装置

ドライエッチング装置

プラズマアッシャー

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RF電源(高周波電源)

ヘリウムリークディテクター



真空部品

   

真空バルブ

真空排気装置

イオンゲージ

真空チャンバー

真空計

ピラニ真空計

マスフローコントローラー

ペニング真空計

電離真空計



真空ポンプ

   

ロータリーポンプ

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TMP

油拡散ポンプ



半導体関連装置

   

イオナイザー

露光装置

スクリーン印刷機

ダイボンダー

ワイヤーボンダー

ダイサー

テーピング機

除電ブロワー

ディスペンサー

マスクアライナー

レーザーマーカー

高精度ハイトゲージ

紫外線照射装置

UV照射装置

スクリーン印刷機

スピンコーター

SMT装置

MEMS装置

ラップ機

研磨機

CMP装置



理化学/分析装置

   

ガスクロマトグラフ

質量分析装置

デジタル糖度計

ドラフトチャンバー

液体クロマトグラフ

粒度分布装置

グローブボックス

蛍光X線検査装置

金属顕微鏡

振動試験機

走査型電子顕微鏡

微生物検出器

分光光度計

実体顕微鏡

臨床用顕微鏡



環境機器(オーブン)

 

恒温槽

恒温恒湿槽

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イナートガスオーブン

環境試験機

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クリーンルーム関連

   

クリーンベンチ

クリーンブース

ヘパフィルター

FFU

クリーンルーム用掃除機

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設備関連

   

エアードライヤー

コンプレッサー

金型温調機

チラー

集塵機

エアードライヤー

純水製造装置

純水装置

キュービクル

除外装置

ガス発生装置・ガス精製装置

超音波溶接機



洗浄機

   

ウェット洗浄機

超音波洗浄機

超音波ホーン型洗浄機

枚葉式洗浄装置

サンドブラスト

ピペット洗浄機



電気計測器

   

オシロスコープ

直流安定化電源

デジタルLCRメーター

デジタルマルチメーター

ロジックアナライザー

交流電源

周波数カウンタ

スペクトラムアナライザー

輝度計・電子天秤




  
= 在庫状況 


真空装置

イオンコーター(QUICK COATER) サンユー電子製  型式:SC-701

イオンコーター(カーボンコーター) JEOL製(日本電子製)   型式:JEC-530

真空蒸着機 

イオンスパッタ 日立製   型式:E-1045

スパッタリング装置 ANELVA製   型式:SPF-332H

プラズマクリーナー ヤマト科学製   型式:PDV-210

ICPエッチャー STS製   型式:MESC Multiplex ICP

RF電源/マッチングボックス ENI製   型式:RFC-5

RFプラズマ電源/マッチングボックス AD-TEC製   型式:AX-3000V

プラズマアッシング装置 プラズマシステム製   型式:PE-615L

ヘリウムリークディテクター  島津製  型式:MSE-3200

プラズマアッシャー  モリエンジ製  型式:PB-600

RFスパッタリング装置  神鋼製  型式:SRV4220型 2元スパッタ

真空蒸着装置 ULVAC製  型式:EBX-12C

イオンスパッタ(卓上スパッタ)  日立製  型式:E-1030

製膜装置  サムコ製  型式:PD-200D ダイアモンドライクカーボン

プラズマアッシャー プラズマシステム製  型式:DES-106-254E

ドライエッチング装置 アネルバ製  型式:DEM-451M

蒸着機 アネルバ製  型式:EVC-1501

電子銃(EB GUN)  アネルバ製  型式:EGP-230(A12)、最大出力5kW

真空蒸着装置 ULVAC製  型式:EBX-12C

スパッタ装置 ANELVA製  型式:SPF-530H

RF電源 AD-TEC製(アドテック)  型式:AX-1000U、AX-2000

RF電源   アルバック製  型式:PRF-065B

DC電源(スパッタ電源)   Advanced Energy製 型式MDXシリーズ Pinnacle

ヘリウムリークディテクター   ANELVA製 リークディテクター

スパッタ電源   DC電源:MDXシリーズ、RF電源(高周波電源)

スパッタ-エッチング装置/アッシング装置   各種メーカー 情報はお問い合わせ下さい。

ドライエッチング装置 真空蒸着機 イオンスパッタ マグネトロンスパッタ



真空部品、真空コンポーネント

RF電源(高周波電源) アドテック製(AD-TECH)   型式:AX-1000V

マッチングコントローラー  ASTECH製   型式:RC-11

マスフローコントローラー制御ユニット  STEC製   型式:PAC-S5

高周波電源(RF電源)  ADTECH製   型式:AX-500 500W

膜厚コントローラー  INFICON製(インフィコン)   型式:XTC

電子銃(Electron-gun)  5kV-2ch

マッチングコントローラー  ULVAC製   型式:AMC 6D

RF電源/マッチングボックス ENI製   型式:RFC-5

マスフローコントローラー AERA製/S-TEC製    情報はお問い合わせ下さい。

RFジェネレーター  ENI製  型式:ACG-6B   出力:600W 13.56MHZ

RFプラズマ電源 アネルバ製  型式:PRF-125C

DCプラズマ電源 ENI製 型式:DCG-100

RF電源 ENI製 型式:OEM-10B  出力:1250W  

質量ガス分析器 INFICON製 Transpector TSPシリーズ

ピラニー真空ゲージ PIC製 Torr表示 2SETPOINT

アングルバルブ、ゲートバルブ   VAT製 フランジ径6インチ、8インチ 他...

Q-MASS (質量分析器)   ANELVA製

クライオコンプレッサー へリックステクノロジー製  型式:8510  型式:9600

クライオコンプレッサー(ヘリウムコンプレッサー) 各種  情報はお問い合わせ下さい。

真空配管部品   ICF規格、ISO規格、JIS規格 チーズ、エルボ、フレキ、真空チャンバー

DC電源(スパッタ電源)   Advanced Energy製 型式MDXシリーズ Pinnacle

ヘリウムリークディテクター   ANELVA製 リークディテクター

電離真空計(イオンゲージ)サーモカップル真空計   情報はお問い合わせ下さい。



真空ポンプ

スクロールポンプ ブッシュ製(BUSCH)   型式:DSR-500

スクロールポンプ アネストイワタ製   型式:ISP-500B

ターボ分子ポンプ 島津製   型式:TMP202-LM  フランジ形状VG100

ターボ分子ポンプ 島津製   型式:TMP202-LM  フランジ形状ICF152

油拡散ポンプ(DP) 大亜真空製   型式:DPF-4Zs

ディフュージェンポンプ(拡散ポンプ) 日本電子製   型式:DP-2.5E

拡散ポンプ 大亜真空製   型式:DPF-6Z

クライオコンプレッサー へリックステクノロジー製  型式:9600

イオンポンプ アネルバ製   型式:912-7120 コントローラー:PIC-050NP

ドライポンプ 樫山製   型式:MU100  1000L/m

ドライポンプ アルバック製   型式:PDR-180CN  188/237m3/h

ロータリーポンプ アルカテル製   型式:2063SD オーバーホール品

ロータリーポンプ アルバック製   型式:EC603  1000/1200L/m

ロータリーポンプ アルバック製   型式:VD301  500/600L/m

ロータリーポンプ アルバック製   型式:D-650DK

メカニカルブースターポンプ アルバック製   型式:PRC-012A

メカニカルブースターポンプ アルバック製   型式:PMB012CM

クライオコンプレッサー へリックス(HELIX)製   型式:9600

クライオコンプレッサー 鈴木商館製   型式:C300

クライオコンプレッサー アネルバ製   型式:CRC-870MKU

クライオコンプレッサー アネルバ製   型式:CRC-420MKU

クライオコンプレッサー アルバック製   型式:C30ZR

ターボ分子ポンプ EBARA製(荏原)   型式:ET300-UZ  ISO203

ターボ分子ポンプ用コントローラー PFEIFFER/BALZERS製   型式:TCP121 or DCU100

ダイアフラム型真空ポンプ アルバック製   型式:DA-15S 排気速度12/15 L/min

ポータブルアスピレーター アルバック製    型式:MDA-015 ダイアフラム内蔵

ターボ分子ポンプ PFEIFFER/BALZERS製   型式:TPU062

ターボ分子ポンプ(TMP) PFEIFFER製   型式:TPH240 or TMH260H

ターボ分子ポンプ(TMP) 大阪真空製   型式:TH250MC、ICF152、空冷

ターボ分子ポンプ 大阪真空製   型式:TG203

ターボ分子ポンプ(TMP) SEIKO精機製   型式:STP-300H  ISO100

ターボ分子ポンプ アルバック製   排気速度:740L/s  フランジ:ICF203

ターボ分子ポンプ アルバック製   排気速度:3300L/s  フランジ:VG350

ターボ分子ポンプ アルバック製   排気速度:1300L/s  フランジ:ICF253

ターボ分子ポンプ 島津製   排気速度:200L/s、280L/s、800L/s、1000L/s  磁気軸受型

ターボ分子ポンプ ライボルト製   型式:Turbovac1500

ターボ分子ポンプ 三菱重工製  480L/s、700L/s、2300L/s、3000L/s  吸気口JISフランジ

ターボ分子ポンプ フランジ:JIS規格、ISO規格、ICF規格   情報はお問い合わせ下さい。

ロータリーポンプ エドワーズ製 型式:RV12

ロータリーポンプ エドワーズ製 型式:E2M2

ロータリーポンプ アルカテル製 型式:2063

ロータリーポンプ   エドワーズ製 アネルバ製 アルカテル製 各種メーカー 他...

ロータリーポンプ ULVAC製 型式:VS2401   型式:D-240K

ロータリーポンプ エドワーズ製 型式:E2M18

メカニカルブースターポンプ アルバック製 型式:PMB012CM

メカニカルブースターポンプ アルバック製 型式:PMB006CM

クライオポンプ アネルバ製、CAP-120 080 CAP-131 他...

クライオポンプ ヘリックステクノロジー製、型式:CT-8

イオンポンプ アネルバ製 型式:PI C-050A-IP

クライオコンプレッサー へリックステクノロジー製  型式:8510  型式:9600

クライオコンプレッサー(ヘリウムコンプレッサー) 各種  情報はお問い合わせ下さい。

ドライ真空ポンプ 樫山製  型式:SD40VU

ドライ真空ポンプ エドワーズ製  型式:GX-100L

ドライ真空ポンプ 樫山製  型式:SDL25K-DM017A

ドライ真空ポンプ 樫山製  排気量:1000L/min  1500L/min

ターボ分子ポンプ 大阪真空製(OSAKA)、PFEIFFER製、LEYBOLD製、Edwards製

スクロールポンプ エドワーズ製  型式:ESDP12

スクロールポンプ エドワーズ製  型式:XDS10



半導体製造装置

マスクアライナー(露光機) キャノン製(CANON)  型式:PLA-501FA

ウェハーローダー オリンパス製(OLYMPUS)  

ディスペンサーロボット ムサシエンジニアリング製  型式:SHOT mini SL

ディスペンサーロボット 武蔵エンジニアリング製  型式:SHOT mini SL

ウェハー拡張装置(エキスパンダー) テクノビジョン製  型式:TEX-21B

マスクアライナー ミカサ製  型式:MA-60F

プラズマクリーナー ヤマト科学製  型式:PDV-210

チップ/テープ分離装置 ヒューグルエレクトロニクス製  型式:model4800

ウェハーマウンター(貼り付け機) 日東電工製  型式:M-265N

紫外線照射装置 浜松ホトニクス製  型式:L7212-01

セミオートプロ―バー MJC製 型式:SP-80

ウェハーチェッカー マイクロニクス製

エリプソメーター ガードナー製/他・・・   情報はお問い合わせ下さい。

ワイヤーボンダーダイボンダー 新川製/カイジョー製

マニュアルワイヤーボンダー(ボールボンダー) K&S製 4122型

バックグラインダー DISCO製 型式:DFG840HG

マニュアルプローバー 日本マイクロ製 型式:705B-HF

マスクアライナー CANON製 型式:PLA

UVスポットキュア ウシオ製 型式:SP-7

スプレーコーター テックインテック製 型式PS-C610L

マスクアライナー(マスクアライメント装置) ミカサ製  MA-10型

スピンコーター ミカサ製    情報はお問い合わせ下さい。

露光装置 CANON製/USHIO製  4〜6インチ、8インチ  情報はお問い合わせ下さい。

ウェハー表面ゴミ検査機(パーティクル測定機) TOPCON製  6インチ

非接触膜厚測定機 NANOSPEC/AFT    情報はお問い合わせ下さい。

ラムダエース ウェハー分析機    情報はお問い合わせ下さい。

プラズマクリーナー     情報はお問い合わせ下さい。

スピンドライヤー   5インチ、6インチ各種  2カセット、4カセット各種

フルオートプロ―バー TEL製(東京エレクトロン) リンサードライヤー VARIUS製

ウェハー搬送ユニット抵抗率測定装置大気圧プラズマ装置表面形状測定装置



洗浄装置・洗浄機

超音波洗浄機(卓上) ASONE製    型式:US-5R

紫外線オゾン洗浄装置(UV照射) コスモ技研製    型式:CUVD50U-05

超音波発信機 カイジョー製    型式:200-28F TYPE:4341i  出力:200W 28kHz

超音波洗浄機 クレスト製 ULTORA SONICS 型式4G-500-6-TSAW

超音波洗浄装置 2層式〜5層式 各種

3層式洗浄機 バートル製     情報はお問い合わせ下さい。

ウォータージェット洗浄機プラズマ洗浄装置(プラズマクリーナー)

ドラフトチャンバー 有機ドラフト、酸処理 各種  寸法:幅1500mm〜2200mm



ユーティリティー・工場設備

窒素ガス発生装置 小島製作所製    型式:2NT-1.5

恒温水循環装置(空冷チラー) EYELA製 型式:NCB-2200

冷却水循環装置(空冷チラー) EYELA製 型式:CA-1114B

空冷チラー ヤマト科学製    型式:CLH300

チラー(空冷) EYELA製(東京理化器械製)    型式:CA-1112

チラー ORION製/オリオン製 型式:RKS1500、RKS400、RKEシリーズ(水冷タイプ大型43kW)

コンプレッサー(レシプロ) 日立製 型式:PO-0.75LS  1馬力

金型温調機 クボタカラトロ製 型式:STP-330-130

チラー(クーリングポンプ) タイテック製 型式:CH-400

業務用冷蔵庫 ホシザキ製 型式:HR-180X形  (内容量1651L)

スクリューコンプレッサー HITACHI製 15kW〜37kW 各種

エアータンク(レシーバータンク) 、クーリングタワー

エアードライヤー ORION製 型式RAX-37SE-B

窒素精製装置窒素発生装置(N2精製装置)   情報はお問い合わせ下さい。



理化学機器

TOC計(全有機体炭素計) 島津製  型式:TOC-5000A

デジタルマイクロスコープ HIROX製  型式:KH-2700

グローブボックス 真空チャンバー付き

デジタルマイクロスコープ HIROX製   型式:KH-3000

FIB(走査型イオン顕微鏡)  SII製   型式:SMI3200

FIB(集束イオンビーム装置)  SII製   型式:SMI9800

レーザー顕微鏡 キーエンス製(KEYENCE)   型式:VK-8510

防振台(卓上防振台)  明立精機製  型式:AVT-0405NC

ドラフトチャンバー(有機ドラフト) オリエンタル技研製   W2300

ドラフトチャンバー(酸アルカリドラフト) オリエンタル技研製   W1800

遠心機(遠心分離機) コクサン製   型式:H-27F

光学ステージ XYZステージ 各種 

金属顕微鏡  オリンパス製/ニコン製  対物レンズ倍率:x5〜x100

実体顕微鏡 オリンパス製/ニコン製   双眼顕微鏡  倍率:ズーム倍率

電子顕微鏡(SEM) 走査電子顕微鏡 JEOL製/キーエンス製  情報はお問い合わせ下さい。

凍結乾燥装置  真空凍結乾燥機   情報はお問い合わせ下さい。

デジタルマイクロスコープ キーエンス製   型式:VH-5000 & 型式:VH-8000

微小硬度計  6インチウェハー用   ドラフトチャンバー   寸法:幅1500mm〜2200mm

精密定盤光学定盤防振台除振台   寸法:幅750mm〜2000mm

走査型トンネル顕微鏡 STM走査型プローブ顕微鏡 SPM原子間力顕微鏡 AFM

クロマトグラフィーシステム液クロガスクロデシケーター    情報はお問い合わせ下さい。

フーリエ変換赤外分光光度計 FTIR蛍光エックス線分析装置真円度測定装置



検査機・分析装置

TOC計(全有機体炭素計) 島津製  型式:TOC-5000A

蛍光X線分析装置 島津製  型式:EDX-700HS

レーザー変位計 キーエンス製  型式:LC-2100

レーザー変位計 キーエンス製  型式:LT-9000

デジタルマイクロスコープ HIROX製  型式:KH-2700

色彩輝度計 トプコン製  型式:BM5A 型式:BM7R

色彩輝度計 コニカミノルタ製  型式:CS-100A、CS-100

SPM(走査型プローブ顕微鏡) JEOL製(日本電子)  型式:JSPM-5200

液クロ用ポンプ 島津製(SHIMADZU)  型式:SCL、SPD、LC

FT-IR(フーリエ変換赤外分光光度計) ATI Mattson製  型式:Genesis

FTIR(フーリエ変換赤外分光光度計) Thermo Electron製  IR100/IR200シリーズ

ガスクロマトグラフ 日立製  型式:G-5000

ガスクロマトグラフ サーモサイエンティフィック製  型式:TRACE gc

パーティクルカウンター RION製(リオン製)  0.3μm、0.5μm、10μm・・・

デジタルマイクロスコープ HIROX製   型式:KH-3000

FIB(走査型イオン顕微鏡)  SII製   型式:SMI3200

FIB(集束イオンビーム装置)  SII製   型式:SMI9800

デジタルマイクロスコープ キーエンス製  型式:VH-5000

レーザー変位計 キーエンス製  型式:LE-4000

表面分析装置  理研計器製  型式:AC-1 仕事関数測定/膜厚係数率測定

硬度計  アカシ製  型式:MVK-1C  ヌーブ硬度orビッカース硬度

Q-MASS (質量分析器)   ANELVA製    情報はお問い合わせ下さい。

ウェハー表面ゴミ検査機(パーティクル測定機) TOPCON製  WMシリーズ  6インチ

非接触膜厚測定機 NANOSPEC/AFT    情報はお問い合わせ下さい。

ラムダエース ウェハー分析機    情報はお問い合わせ下さい。

金属顕微鏡(外観検査装置)  オリンパス製/ニコン製  対物レンズ倍率:x5〜x100

走査型電子顕微鏡(SEM) 走査電子顕微鏡 JEOL製/キーエンス製 

デジタルマイクロスコープ キーエンス製   型式:VH-5000 & 型式:VH-8000

ドラフトチャンバー   寸法:幅1500mm〜2200mm    情報はお問い合わせ下さい。

STMAFMSPM防振台精密定盤紫外線輝度計測装置(輝度・照度)

フーリエ変換赤外分光光度計 FTIR蛍光X線分析装置クロマトグラフシステム



環境機器・恒温槽・オーブン

高温管状炉(アニール炉)  光洋サーモシステム製 型式KTF773N-S 1100℃

プレッシャークッカー(加速寿命試験装置) エスペック製   型式:EHS-411MD

恒温槽・オーブン  ESPEC製/ヤマト科学製 各種   情報はお問い合わせ下さい。

電気炉 (マッフル炉) KDS製 型式S-90 設定温度〜1100℃

真空オーブン ヤマト科学製 型式:DP-31-T、温度:20〜240℃、寸法W300×D300×H300mm

凍結乾燥装置  真空凍結乾燥機   情報はお問い合わせ下さい。

高温雰囲気炉結露サイクル試験機熱衝撃試験機(サーマルショック試験機)

恒温恒湿槽インキュベーター エスペック製/ヤマト科学製  情報はお問い合わせ下さい。



電気計測器・電気部品、コンポーネント

高電圧電源 NF製  型式:HVA4321021

DC電源 菊水製  型式:PVS40-30  0〜40V 30A

ポータブルアナライザー Anatel A-100P  Anatel Portable Analyzer

直流電源 菊水製    型式:PCR1000 & 型式:PCR2000

高電圧電源 松定製 HARシリーズ、HERシリーズ 出力:10kV、15kV、20kV

高性能直流電源 松定プレシジョン製 型式:PQシリーズ 〜250V、〜350V

直流安定化電源 菊水製 〜250V  他・・・

直流安定化電源 松定プレシジョン製 〜250V  他・・・

シグナルジェナレーター HP製 型式:8657A、周波数帯域:0.1-1040MHz

スペクトラムアナライザー アドバンテスト製 型式:TR4171

オシロスコープ テクトロニクス製 周波数:50Hz、500S/s、200MHz、500MHz、2GHz、2.5GHz

デジタルオシロスコープ HP製/テクトロ製/岩通製/横河製  情報はお問い合わせ下さい。

ネットワークアナライザー光パワーメーターメガオームテスター電流プローブ



クリーン機器・クリーンルーム設備

クリーンベンチ  日立製  PCV  寸法:W1600 D770 H1860

クリーンデシケーター  各種

クリーンベンチ  作業範囲:幅1000mm〜1800mm

クリーン保管庫    情報はお問い合わせ下さい。

ヘパフィルター(クリーンフィルター) 日本エアーテック製 SS-MACシリーズ



    【過去の納入実績と主な取扱商品】

環境機器/環境試験機/オーブン/恒温槽

イナートガスオーブン   光洋サーモシステム
インキュベーター BNP-110 エスペック
インキュベーター IS82 ヤマト科学
インキュベーター   ISUZU
インキュベーター   福島工業
クリーンオーブン DE-62 ヤマト科学
恒温槽 DG82 ヤマト科学
恒温槽 PH-300 タバイエスペック
恒温槽(小型 卓上) CS3018C キャロットシステムズ
恒温乾燥機 CI-410 ADVANTEC 
恒温器 PU-3KP タバイエスペック
恒温器 PU-4KP タバイエスペック
恒温恒湿器 PL-4KP タバイエスペック
真空オーブン DQ-100L 佐藤真空
真空オーブン DQ-30P 佐藤真空
定温乾燥機 EPR115 いすゞ製作所
電気炉 KT-105SP ADVANTEC

クリーン

クリーンパーテーション ACP-890D-S 日本エアーテック
クリーンベンチ ADS-130PH ヤマト科学
クリーンベンチ B-MAC-1000HS 日本エアーテック
クリーンベンチ CLB-BCM1903S 日本エアーテック
クリーンベンチ CLB-BCM1913S 日本エアーテック
クリーンベンチ PAU-1300CN ダルトン
ヘパフィルター BV-R100CRF-T 松下
ヘパフィルター MAC-10F 日本エアテック
ヘパフィルター MAC-50  

真空機器/真空ポンプ/真空計/真空部品

DC電源(スパッタ電源) MDX-10k アドバンストエナジー
DC電源(スパッタ電源) MDX-5k アドバンストエナジー
DC電源(スパッタ電源) ピナクル アドバンストエナジー
DC電源(スパッタ電源) ピナクル アドバンストエナジー
MDXコントローラー MDX-052  
RF電源 PRF-503 アネルバ
イオンゲージ IG-8 UNITEC
イオンゲージ(電離真空計) IONIVAC IM110DV ライボルト
イオンゲージ IONIVAC IM210 ライボルト
クライオコンプレッサー CCT-C110002B 鈴木商館
クライオコンプレッサー CTI-8510 HELIX
クライオポンプ CAP-121 アネルバ
クライオポンプ CAP-80 アネルバ
クライオポンプ CRYO-U 6H ULVAC
クライオポンプ CRYO-U 8H ULVAC
クライオポンプ TORR MASTER CT100WK-S82 SUMITOMO
クライオポンプ V208SB512FR ダイキン
クライオポンプ V208SC512FN ダイキン
ゲートバルブ 12040-JA44 VAT
ケミカルギアポンプ GM-15VKKV-04FC-S IWAKI
スクロールポンプ ESDP30 エドワーズ
スクロールポンプ FO0030BOHO ブッシュ
ターボ分子ポンプ 1200FW ULVAC
ターボ分子ポンプ ATP-80 アルカテル
ターボ分子ポンプ STP H2000K セイコー
ターボ分子ポンプ STP-A1303C BOCエドワーズ
ターボ分子ポンプ TG200VALL 大阪真空
ターボ分子ポンプ TG350FVAB 大坂真空
ターボ分子ポンプ TMP1000L 島津製作所
ターボ分子ポンプ TMP1002LM 島津
ターボ分子ポンプ TMP1003LM 島津
ターボ分子ポンプ Turbovac450 ライボルト
ドライポンプ 80×25UERR6M エバラ
ドライポンプ CDP80 エドワーズ
ドライポンプ iL600 エドワーズ
ドライポンプ RD300-108-1 樫山工業
ドライポンプ RD600 樫山工業
ドライポンプ RD90 樫山工業
ドライポンプ SDE612 樫山工業
ドライポンプ V060HB キャノンアネルバテクニクス
ピラニーゲージ MPG-011 アネルバ
ピラニーゲージ PT-3PM 大亜真空
ピラニゲージ APG D02174000 エドワーズ
ピラニゲージ APG-L-NW25 エドワーズ
ピラニゲージ APG-M-NW16 エドワーズ
ヘリウムリークディテクター MSE-3100 島津製作所
マスフローコントローラー FC-771AC AERA
マスフローコントローラー FC-772C AERA
マスフローコントローラー   STEC
マッチングコントローラー RC-11 ASTECH
メカニカルブースターポンプ EH-1200 エドワーズ
メカニカルブースターポンプ KMB1201 樫山工業
メカニカルブースターポンプ PMB001CM ULVAC
メカニカルブースターポンプ PMB003CM ULVAC
メカニカルブースターポンプ WAU2001 ライボルト
ルーツポンプ(真空ポンプ) CT4-65 アンレット
ルーツ真空ポンプ FT2-80 アンレット
ロータリーポンプ 2033 アルカテル
ロータリーポンプ D65BC ライボルト
ロータリーポンプ D8C ライボルト
ロータリーポンプ GVD-100 ULVAC
ロータリーポンプ M2015SD アルカテル
ロータリーポンプ PASCAL2015I ALCATEL
ロータリーポンプ S100C ライボルト
ロータリーポンプ SD1400 バリアン
ロータリーポンプ T2063C2 アルカテル
ロータリーポンプ VR16F3 日立
小型排気装置 センサ封止装置 EVP-38939-B アネルバ(ANELVA)
小型排気装置 センサ封止装置 EVP-39972-A アネルバ(ANELVA)
真空バルブ 98801-R1 VAT
真空バルブ A-416440 VAT
真空バルブ A-543012 VAT
真空ポンプ KD401 ORION
真空ポンプ KD-751-301 ORION
電離真空計 IT-1DA 大亜真空
油回転真空ポンプ TST-50 サトー 
油拡散ポンプ   TOKUDA

真空装置/真空設備/蒸着機/スパッタ装置/エッチング装置

ICE イオンケミカルエッチン ICE-200 芝浦エレクトロニクス
ICP エッチング装置 EVP-29703 アネルバ
ICP エッチング装置 ICP A601E アルカテル
ICP エッチング装置 RIE-101LC SAMCO
MRCスパッタ装置   MRC
インラインスパッタ装置 ILC-703  アネルバ
インラインプラズマCVD装置 ILV-9305 アネルバ
エッチング装置(ケミカルドライエッチング) CDE-200 芝浦エレクトロニクス
エッチング装置(ケミカルドライエッチング) VA2000 ULVAC アルバック
コーター(スパッタ/エッチング) SC-707 サンユー電子
スパッタ装置 C7553 アネルバ
スパッタ装置 SPF530H アネルバ
ドライエッチング装置 DEM-451 アネルバ
ドライエッチング装置 DEM-451T アネルバ
プラズマCVD装置 PED-401 アネルバ
蒸着機 EDX-14D ULVAC
蒸着機 SGT-400T 昭和真空
蒸着装置 CVD EX-650 Ulvac
真空チャンバー    

設備/機器/チラー/コンプレッサー/純水装置

エアードライヤー PVC-2 白川製作所
スクリューコンプレッサー AM-2PD-5 コベルコ
チラー 1W-3H-4 リオン
チラー RCS-1S リオン
チラー RKS400F-V オリオン
チラー(冷却トラップ) CT-110 佐久間製作所
チラー(水冷式) TCW-6500CP 三栄技研
ハンドプレス OS-2 オゼキ
ベローズポンプ FB-50C IWAKI
ベローズポンプ FB-70C IWAKI
ベローズポンプ FS-15HT2 IWAKI
ベローズポンプ JS-10H-X TACMINA
マグネットポンプ MD-100FGY IWAKI
マグネットポンプ MD-100FZ  
マグネットポンプ MD30FX-N IWAKI
マグネットポンプ MD-30RM-200EN IWAKI
マグネットポンプ MD55R-5M IWAKI
マグネットポンプ MDF-250CFETD  
マグネットポンプ MDH-400RV5E  
マグネットポンプ MDH-400SE5D IWAKI
マグネットポンプ MDH-401FE5D(RE) IWAKI
マグネットポンプ MDH-401RE5D IWAKI
マグネットポンプ MDH-401RV5E IWAKI
マグネットポンプ MDH-F422AAVT-E IWAKI
純水製造装置 WS-1 TABAI ESPEC
純水装置 UHP-600/W-100  
除害装置(触媒式PFC分解装置) CD-120 日立ハイテクノロジーズ
窒素ガス発生装置 AT-10NP-C 日本エアテック
窒素ガス発生装置 Model20E 横河YOKOKAWA
超音波溶接装置 MH-2014D/FC-2015 SONOBOND
直流イナートガス溶接機 YC-150TDSP 松下電器
直流イナートガス溶接機 YC-300TDS-2 松下電器
冷却水循環装置 CA-1100 EYELA

洗浄装置/洗浄機

ウェット洗浄機 M200 SSEC
超音波ピペット洗浄機 UCL-1730N  
超音波ホーン型洗浄機 MT-127R  
超音波洗浄機   クレスト

電気計測器

オシロスコープ 2236 テクトロニクス
オシロスコープ 2445B テクトロニクス
オシロスコープ CS-5175 KENWOOD
直流安定化電源 CMS20-2 METRONIX
直流安定化電源 DMS18-3 METRONIX
直流安定化電源 DMS35-1.5 METRONIX
直流安定化電源 MTR-35-2 METRONIX
直流安定化電源 PA36-1.2A KENWOOD
直流安定化電源 PD35-10D KENWOOD
直流安定化電源 PR18-6A KENWOOD
直流安定化電源 PR36-1.2A KENWOOD
直流安定化電源 PR36-3 KENWOOD
直流安定化電源 PR36-3A KENWOOD
デジタルLCRメ−タ− 4262A YOKOGAWA HP
デジタルオシロスコープ 54501A HP
デジタルオシロスコープ 54502A HP
デジタルオシロスコープ(150MHz) 2430A テクトロニクス
デジタルマルチメーター 7552 YOKOGAWA
デジタルマルチメーター 7561 YOKOGAWA
デジタルマルチメーター 3466A HP
デジタルマルチメーター SC-7401 IWATSU
デジタルマルチメーター TR6845 アドバンテスト
デジタルマルチメーター TR6846 アドバンテスト
デジタルマルチメーター TR6861 アドバンテスト
デジタルマルチメーター TR6871 アドバンテスト
デジタルマルチメーター TR6875 Takeda
ファンクションジェネレーター FG-350 IWATSU
ロジックアナライザー 1652B/1653B  
ロジックアナライザー SL-4121 IWATSU
安定化電源 PMC18-2 菊水
安定化電源 PWS-350-10  
交流電源 EP-1200A エヌエフ回路設計ブロック
周波数カウンター CMC251 Tektronix
直流安定化電源 PAD 30-20L 菊水
直流安定化電源 PAN35-20A 菊水
直流安定化電源 PD18-20A KENWOOD
直流安定化電源 PMC18-2 菊水
直流安定化電源 PMC70-1A KIKUSUI
直流安定化電源 PR18-3A KENWOOD
直流安定化電源 PR18-3A KENWOOD
直流安定化電源 PWS-350-10  
電気化学アナライザー 606A ALS
電流電圧発生器 TR6142 アドバンテスト
標準圧力発生器 TYPE2656 YEW
標準電流電圧発生器 MODEL101 KIKUSUI

半導体製造装置

Sparc 3152295-004A アドバンスドエナジー
Vacuum Tweezer VT-400 アズワン
XY軸ロボット DS-S4M-100 DS-S-C1 IAI
イオナイザー(除電ブロワー) 20/20ACN ヒューグル
コロナ放電装置 P505 巴工業
スクラバー   ダルトン
スクリーン印刷機 LS-7AN ニューロング
スクリーン印刷機 LZ-8326 ニューロング
ダイボンダー CPS-610VX NECマシナリー
ディスペンサー ML-505X MUSASHI
テーピング装置 VS120 vanguard
ナノインデンタ NANOSCOPE3A ToyoTech
マスクアライナー PLA-501  
マスクアライナー PLA-501F ニコン
ユニバーサルカウンタ TR5822 Takeda
ユニバーサルカウンタ TR5823 アドバンテスト
レーザーマーカー SL-475K NEC
ワイヤーボンダー FB-150D カイジョー
高精度ハイトゲージ TESAμハイト/07.30049 brown & sharp
紫外線照射装置 OCT-6000926-D アイグラフィックス
除電ブロワー(イオナイザー) A300-1 SIMCO
除電ブロワー(イオナイザー) AEROSTAT XC-3 SIMCO
除電ブロワー(イオナイザー) ESCA20/20 ヒューグルエレクトロニク
卓上ロボット塗布装置 JR2303N JANOME
倒立顕微鏡 CK40M オリンパス
片面研磨機 SLM-35 不二越
露光機(露光装置) UX-4138SM ウシオ電機

理化学機器/ドラフトチャンバー/顕微鏡

理化学機器    
ガスクロマトグラフ GC-14A 島津
デジタル屈折計 PR-100 アタゴ
デジタル屈折計 PR-101 アタゴ 
デジタル屈折計 PR-200 アタゴ
デジタル屈折計 PR-300 アタゴ
デジタル糖度計 PR201 アタゴ 
デジタル糖度計 PR301 アタゴ 
ドラフトチャンバー 1200型  
ドラフトチャンバー ADS1200PCB 日本エアーテック
液体クロマトグラフ LC-10AD 島津
液体クロマトグラフ LC-2010C 島津
液体クロマトグラフ   Waters
遠心沈降式粒度分布測定装置  SA-CP3形  島津
遠心流動造粒機 CF-360N フロイント産業 FREUND
輝度計 BM-9 TOPCON
輝度計 LS-110 ミノルタ
空気環境測定器 YSA-800 矢崎計器
空洞共振器 CP501 関東電子応用開
蛍光X線分析装置 System3272 Rigaku
蛍光検出器 F-1100 日立
恒温振とう培養機 BR-12FP タイテック
恒温振とう培養機  BR-160LF タイテック
高速液体クロマトグラフ Agilent1100 HP
質量分析計
(QUADRUPOLE MASS SPECTROMETER)
AQA-100R アネルバ
振とう培養器 CS-16 KURABO
振とう培養器 V・BR-36 BioShaker
走査型顕微鏡用画像解析装 ルーゼックス 3  
走査型電子顕微鏡一式 JSM-5400  
微生物検出器 ミニバイダス bioMerieux
分光光度計 1201 MILTON ROY
分光放射輝度計 CS-1000A コニカミノルタ
分光放射計 SR-2A TOPCON
分量超遠心器 L-70 BECKMAN
立型固液分離装置 VSC200 新潟ウオシントン
臨床用顕微鏡  X2CUW-31 ニコン

半導体製造装置

品名 型式 メーカー

カシメ機

   

バーコードプリンタ

B-374-TS15 東芝テック

レーザーマーカー

Ml-9010 キーエンス

レンズ調節器

   

真空包装機

FV-600NK(B) 富士インパルス

卓上超音波洗浄機

   

脱泡器(シリンジ用)

  ムサシ

N2リフロー

  古河電子

UV照射器

  ウシオ

印刷機

  JUKI

ウエハー検査装置

   

純水装置

  オルガノ

純水装置

  栗田

純水装置

  日本バイオニクス

純水装置

  ヤマト科学

スライサー

  岡本

スライサー

  東京精密

ダイサー

  ディスコ DISCO

ダイサー

  東京精密

ダイボンダー

  九松

ダイボンダー

  新川 SHINKAWA

ダイボンダー

  トーソク

チップマウンター

  JUKI

超音波洗浄機

  カイジョー

超音波洗浄機

  サンヨー

超音波洗浄機

  島田理化

ドラフトチャンバー

  ダルトン

ドラフトチャンバー

  ヤマト科学

バンプボンダー

  松下パナソニック

ポリッシャー

  スピードファム

マウンター

  JUKI

マスクアライナー

  キャノン

マニュアルウェッジボンダー

  WEST BOND

ラップ盤

  スピードファム

リフロー装置

  JUKI

レーザーマーカー

  TDK

露光機

  NEC

ワイヤーボンダー

  カイジョー

ワイヤーボンダー

  新川

ワイヤーボンダー

  超音波工業

真空装置

品名 型式 メーカー

MASS FLOW STNDRD

MFS-402A TYLAN

RF電源

RXF アドバンスエナジー

スクロールポンプ

ESDP30 エドワーズ

ターボ分子ポンプ

TG200VALL 大阪真空

ダイアフラムポンプ

DA-20D ULVAC

ドライポンプ

DP80 エドワーズ

ドライポンプ

DP40 エドワーズ

ドライポンプ

DP-80 エドワーズ

ドライポンプ+メカブ

iH600 エドワーズ

ドライポンプコントローラー

DP80用 エドワーズ

ベローズポンプ

FB-50C IWAKI

ベローズポンプ

FB-70C IWAKI

ベローズポンプ

FF-20BT1 IWAKI

ベローズポンプ

FS-15HT2 IWAKI

メカニカルブースターポンプ

EH1200 エドワーズ

メカニカルブースターポンプ

EH250 エドワーズ

ロータリーポンプ

  アルバック

ロータリーポンプ

D8C ライボルト

ロータリーポンプ

VR16F3 日立

ロータリーポンプ

160VP 日立

真空ポンプ

DA-60S アルバック

EB電源

  日本電子

イオンミリング装置

  日立

エッチング装置

  AMAT

エッチング装置

  サムコ

クライオコンプレッサー

  オリオン

クライオコンプレッサー

  ヘリックス

クライオポンプ

  アルバック

クライオポンプ

  オリオン

真空蒸着機

  シンクロン

スパッタ装置

  AMAT

スパッタ装置

  アネルバ ANELVA

スパッタ装置

  芝浦

スパッタ装置

  トッキ

スパッタ装置

  ユナクシスジャパン

ターボ分子ポンプ

  アルバック ALVAC

ターボ分子ポンプ

  エドワーズ

ターボ分子ポンプ

  大阪真空

ターボ分子ポンプ

  セイコー

ターボ分子ポンプ

  バルザース

ターボ分子ポンプ

  三菱重工業

検査・測定器

品名 型式 メーカー

FFTアナライザー

  小野測器

PCレコーダー

  エムシステム技研

STANDERD RESISTOR

2792 横河

STANDERD RESISTOR

abs  

TORQUE DETECTOR

SS-002 小野測器

ウェブフォームモニター

CV-1240 KENWOOD

ウェブフォームモニター

5860V LEADER

オートコリメーター

AC-140 パール光学

オートコリメーター

2ガタ  

オシロスコープ

  アジレント

オシロスコープ

V-058G 日立

オシロスコープ

TDS320P  

オシロスコープ

2445-OP5.4Z  

オシロスコープ

2445B  

カウスメーター

HGM-8300-5  

スライダック

240V マツナガ

デジタルインジケーター(測長器)

Extramess 2000 Mahr

デジタルオシロスコープ

2430A  

デジタルオシロスコープ

DL1200E  

デジタルオシロスコープ

2440 OP.05  

デジタルカウンター

LDC-824 リーダー電子

デジタルタコメーター

Ht-466 小野測器

デジタル回転計

  鶴賀電機

デジタル直流電圧計

  鶴賀電機

電圧発生装置

Feb.52  

トランスボックス(電源)

F-300D 日動工業

パワーサプライコントローラ

PIA4830 菊水電子工業

ファンクションジェナレーター

FG-163  

ファンクションジェネレーター

FG-163  

ファンクションシンセサイザー

1930  

ファンクションシンセサイザー

1930  

高精度ハイトゲージ

TESAμハイト/07.30049  

高精度測長器

LGB-110 ミツトヨ

実体顕微鏡

  Carton

実体顕微鏡

  Carton

実体顕微鏡

  オリンパス

実体顕微鏡

  ニコン

実体顕微鏡

EMT-3/15 メイジテクノ

純水比抵抗計

   

小型偏心測定器

MF-5 テクロック

小形振動試験装置

513-B エミック

振動試験機

   

直流安定化電源

E3631A HP

直流安定化電源

PWR18-2P KENWOOD

直流安定化電源

7315 メトロニクス

直流安定化電源

525B メトロニクス

直流安定化電源

32-3.5 メトロニクス

直流安定化電源

523B メトロニクス

直流安定化電源

521B メトロニクス

直流安定化電源

521C メトロニクス

直流安定化電源

6455A メトロニクス

直流安定化電源

MTR-18-5s メトロニクス

直流安定化電源

PMC-18-3 菊水

剥離強度測定器

RX-2 AIKOH

3次元測定器

  ミツトヨ

DC電源

  アジレントテクノロジー

SEM

  日立

X線検査機

  セイコー

X線分析装置

  セイコー

オシロスコープ

  IWATSU(岩通)

オシロスコープ

  テクトロニクス

オシロスコープ

  横河

可変抵抗器

  横河

金属顕微鏡

  オリンパス

金属顕微鏡

  ニコン

酸素濃度計

   

紫外線積算光量計

  ウシオ

シグナルジェネレーター

  アジレントテクノロジー

スペクトラムアナライザ

  アジレントテクノロジー

走査型顕微鏡

  オリンパス

走査型電子顕微鏡

  日本電子

測定顕微鏡

  オリンパス

炭素濃度計

   

窒素濃度計

   

電子顕微鏡

  島津

電子顕微鏡

  日本電子

電子負荷装置

  横河

電子負荷装置

  横河電機

投影機

  ニコン

パーティクルカウンター

  リオン

分光光度計 FT-IR

   

ヘリウムリークディテクター

   

レーザー顕微鏡

  オリンパス

ロジックアナライザー

  アジレントテクノロジー

クリーンルーム機器

品名 型式 メーカー

ヘパフィルター

SS-MAC エアーテック

クリーンブース

   

ドラフトチャンバー

   日本スピンドル

エアーシャワー

  日本エアーテック

クリーンベンチ

  中央理研

クリーンベンチ

  日立

パスボックス

   

環境機器

品名 型式 メーカー

クリーンオーブン

  エスペック

恒温恒湿槽

  エスペック

恒温恒湿槽

  エタック

恒温槽

  エスペック

真空オーブン

  エスペック

真空オーブン

  ヤマト科学

電気炉

  いすゞ製作所

マッフル炉

  いすゞ製作所

ユーティリティー機器

品名 型式 メーカー

オイルコン

AZK147 ダイキン

オイルコン

AKSN105AK ダイキン

オイルコン

AKZS147-D67 ダイキン

オイルコン

AKZ147-D67 ダイキン

オイルミスト除去装置(オニカゼ)

HVS-100 赤松電機

コンプレッサー

  イワキ

コンプレッサー

  日立

コンベア

   

リングブロワー

NK-4 ニシムラ電子

リングブロワー

VBL-007-E 日立

焼結装置

   

キュービクル

   

クーリングタワー

  荏原

クーリングタワー

  三菱

コンプレッサー

  コベルコ

コンプレッサー

  東芝

コンプレッサー

  日立

コンプレッサー

  三井精機

チラー

  ダイキン

チラー

  ヤマト科学

チラー

  タイテック

チラー

  松井製作所

トラー

  オリオン ORION